ケミカル・メカニカルポリシング

研磨用語集

ケミカル・メカニカルポリシング

けみかる・めかにかるぽりしんぐ

機械的研磨技術を基本にし、それに加工液の化学反応を組み込んだ加工である。そこでは両者の重畳や交互の作用の利用しており、半導体デバイスウエハの多層配線膜形成の際には、ガラス層間絶縁膜や銅配線膜などの研磨に利用されている。