てぃー・てぃー・ぶぃとは？わかりやすく解説

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てぃー・てぃー・ぶぃ

total thickness variation　の略語。ウェハ平坦度の評価項目の１つ。ウェハ裏面を基準面として厚み方向に測定した高さのウェハ全面における最大値と最小値の差

示唆に富む

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