構成材料
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/12/08 01:48 UTC 版)
真空部品は使用される環境として、真空以外に半導体プロセス等大気以外のガス雰囲気で使用する場合も多い。そこで真空部品を構成する材料は通常の材料の強さや硬さなど機械的材料の特性以外に放出ガスと言う、真空中で材料から放出される気体成分についてや半導体プロセス等ので使用されるガスに対する耐性も重要な指標となる。この放出ガスが少ない材料は真空用材料として区分される。
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