走査電子顕微鏡基本用語集

イオンミリング　ion milling

イオンビームを使った試料作製方法の一種。本来イオンビームを使った加工を意味するが、電子顕微鏡の試料作製の場合、予備的に薄くした試料の表面すれすれにアルゴンイオンビームを入射させ、STEMあるいはTEM用の薄膜試料を作る方法を意味する。

関連する用語

• STEM
• TEM

透過電子顕微鏡基本用語集

イオンミリング

【英】：ion milling

電解研磨法や化学研磨法などで試料作製が行えない場合に使われる試料作製法。特に断面観察用の試料作製に用いられる。2〜10kVで加速したアルゴンイオンビームで入射角10°以下のすれすれ入射で試料を照射し、表面原子を削り薄膜化する。イオンビームによる試料損傷がさけられないのが欠点。市販の装置では倍率数十倍の光学顕微鏡またはCCDカメラで試料の状態を観察できるようになっている。

関連する用語

• 集束イオンビーム加工
• ジェントルミリング
• 電解研磨
• 化学研磨

説明に「イオンミリング」が含まれている用語

• イオンエッチング
• ジェントルミリング
• ディンプルグラインダ
• トライポットポリッシャ
• 集束イオンビーム加工
• 深さ方向プロファイル

超電導用語解説集

イオンミリング

　Arなどのイオンの照射により薄膜表面の原子をはじき出すことにより、薄膜を削り取っていく加工法。