透過電子顕微鏡基本用語集 |
 
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イオンスパッタリング
【英】：ion sputtering
イオン化して加速した原子や分子を固体表面に衝突させることにより、固体表面から固体材料が飛び出してくる現象のこと。成膜(固体表面上への薄膜の形成)や、試料加工に用いられる。成膜の際には、容器中に正負の電極を置いて電界をかけ、陰極側の金属を陽極側に飛散させて、基板に付着させる。
イオン化して加速した原子や分子を固体表面に衝突させることにより、固体表面から固体材料が飛び出してくる現象のこと。成膜(固体表面上への薄膜の形成)や、試料加工に用いられる。成膜の際には、容器中に正負の電極を置いて電界をかけ、陰極側の金属を陽極側に飛散させて、基板に付着させる。
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