三省堂 大辞林

イオン-ビーム 4 [ion beam]

原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを、電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。イオン源（銃）・加速部電磁レンズ・偏向部などから構成される装置でつくられる。加速器、半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工、表面および内部の分析などに用いられる。

超電導用語解説集

イオンビーム

　IBAD法において中間層を配向させるために、中間層元素をスパッタ蒸着する際に、Ar等をイオン化しアシストイオンビームとして材料に応じたある特定の角度から同時に照射する。