三省堂 大辞林

イオン-ポンプ 4 [ion pump]

(1)気体の分子をイオン化して特殊な固体表面に吸着させ、気体の分子を取り除く真空ポンプ。

(2)生体膜を通して無機イオンを輸送する酵素の総称。

走査電子顕微鏡基本用語集

スパッタイオンポンプ（イオンポンプ）　SIP: sputter ion pump,ion pump

チタンのゲッター作用を利用した真空ポンプ。チタン板を陰極として放電を起こすと、イオンスパッタにより常に新しい活性面が露出されると同時に、周囲にもチタンがスパッタされる。これらによる吸着作用を利用して排気する。また、不活性ガスもイオン化されて陰極に捕集されるので、排気できるのが特長である。動作圧力は10^-9〜10^-3Pa程度であるが、放電電流から圧力を知ることができる。安定な放電を持続するため電極は強い磁界中に置かれている。

関連する用語

• 真空ポンプ
• イオン化

透過電子顕微鏡基本用語集

イオンポンプ（スパッタイオンポンプ）

【英】：ion pump

油を使用しないドライ真空系ポンプ。電界と磁界を利用して残留ガスを電離し、生じたイオンでチタンカソードを衝撃し、チタン原子をスパッタして、アノードなどの表面に新鮮なゲッタ膜(化学吸着させる膜)を生成させ、活性ガスはゲッタ膜に吸着され、不活性ガスはイオンとしてカソードに吸着される。透過電子顕微鏡の電子銃室や鏡筒の高真空の排気に用いられる。使用圧力範囲は10^-4〜10^-9Pa。

ウィキペディア

イオンポンプ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2010/03/14 05:57 UTC 版)

イオンポンプ (ion pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。