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走査電子顕微鏡基本用語集
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イオン研磨　ion polishing

イオンビームを使って試料を研磨すること。イオンビームを試料にごく浅い角度で照射したときのスパッタリング現象を利用して、平滑な平面を作製する技術。クロスセクションポリッシャーはこの技術を利用している。

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