透過電子顕微鏡基本用語集

イオンめっき（イオンプレーティング）

【英】：ion plating

金属をイオン化して基板の固体表面上に薄く付着した金属層を作る手法。基板を陰極、金属蒸発源を陽極として真空中あるいはガス雰囲気中で放電を起こすことにより、金属蒸発原子はイオン化され電界によって加速され基板上に被膜する。