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物理気相成長

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2012/01/11 09:34 UTC 版)

物理気相成長または物理蒸着（PVD：Physical Vapor Deposition）は、物質の表面に薄膜を形成する蒸着法のひとつで、気相中で物質の表面に物理的手法により目的とする物質の薄膜を堆積する方法である。

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