熱電界放出電子銃とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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熱電界放出電子銃（TFE電子銃,TF電子銃）　thermal-field-emission electron gun,TFE electron gun,TF electron gun

陰極を高温に保ったまま、強電界を印加すると起きる熱電界放出現象を利用した電子銃。電界放出電子銃とショットキー電子銃の中間的な電子銃で、陰極の加熱温度は700K程度と、ショットキー電子銃に比べて低い。現在市販のSEMには使われていない。

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