制限視野電子チャンネリングパターンとは？わかりやすく解説

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制限視野電子チャンネリングパターン　SAECP: selected-area electron channeling pattern

電子チャンネリングパターンを得るためにビームロッキングを行った時起きる電子線の動きを補正するため、補助レンズと駆動回路を設けてロッキング領域を数〜10µm程度に小さくする方法。

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