differential pumpingとは？わかりやすく解説

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差動排気　differential pumping

低真空SEMのように、電子光学系と試料室に大きな圧力差があるときには、間にオリフィスを入れて別々な排気系で排気することで、圧力差を保って使用することができる。これを差動排気と言う。

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差動排気

【英】：differential pumping

排気抵抗の高いオリフィスや細管でつながっている二室の各室に対して別個のポンプを設けて排気すること。各室は互いに影響されることなく、それぞれのポンプの性能による到達圧力に達する。カメラ室と鏡筒の間にはオリフィスに相当する 0.5〜2mmの固定絞りが入っており、両部分はになっている。試料室と電子銃室の間もになっている。

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