X-SEMとは？ わかりやすく解説

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X-SEM　cross-sectional scanning electron microscopy

試料の断面形状を正確に把握し、内部構造や基板表面に積層された薄膜の成膜状況を知る目的で、断面試料を作製し、SEM観察すること。TEMを用いたこのような観察手法はX-TEMと呼ばれている。

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