アウトレンズ形対物レンズとは？ わかりやすく解説

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アウトレンズ形対物レンズ（汎用形対物レンズ）　out-lens objective lens,conventional objective lens

汎用SEM、あるいはEPMA、SAMなどの分析装置で使われる対物レンズ。内側のヨーク部分にレンズギャップが設けられており、試料はポールピースの外側に置かれていることからこう呼ばれる。レンズと試料の間の距離が短くできないことから収差は小さくできないが、試料周辺の空間は大きく、試料傾斜などの自由度は大きい。
アウトレンズ形対物レンズ

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