ラザフォード後方散乱分光
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/07/20 09:29 UTC 版)
ラザフォード後方散乱分光(ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、英語: Rutherford backscattering spectrometry、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。
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- 2 ラザフォード後方散乱分光の概要
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