NiO飽和LPE層とは? わかりやすく解説

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NiO飽和LPE層

 LPE法によりNi基板上に123相を成膜する際、Ni基板溶液との反応抑制するために溶液NiOを予め飽和させる。このNiO飽和した溶液から成長した123層をNiO飽和LPE層と呼ぶことがあり、その結晶構造中にNi原子固溶しているため臨界温度低く良好な超電導特性を得るためにその上にNiO含まない溶液から123層を成膜する。



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