２層LPE構造

超電導用語解説集

２層LPE構造

　金属基板上にLPE法により123系超電導体を成膜するためには、金属基板とBa-Cu-O溶液との反応を抑制する必要がある。そのため金属基板上にMgOあるいはNiOの中間層を形成したうえで、まずその中間層元素を飽和させた溶液を用いて中間層材と溶液の反応を抑制しつつ、中間層元素を含んだ123相を第１LPE層として形成する。更に良好な超電導特性を得るために不純物元素を含まない溶液から123層を第２LPE層として成長させる。この2段のLPE行程により得られる2層LPE構造が形成される。