真空ポンプとは？わかりやすく解説

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真空ポンプ　vacuum pump

電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。

真空ポンプと同じ種類の言葉

発条仕掛(ぜんまいじかけ) 発条仕掛け真空ポンプ真空計(しんくうけい) 砂浴

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