出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/03/05 03:54 UTC 版)
高温プラズマ中で蒸発させ急冷させる。高周波（RF）式と直流（DC）式がある。RF式では同時に化学反応させる事が可能。CVDによるナノ粒子合成もできる。
※この「熱プラズマ法」の解説は、「ナノ粒子」の解説の一部です。
「熱プラズマ法」を含む「ナノ粒子」の記事については、「ナノ粒子」の概要を参照ください。
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