格子対応度とは？わかりやすく解説

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格子対応度（格子整合度）

基板結晶と成長結晶の格子定数の差の大きさを示す度合いで(a_sub-a_epi)/a_epiで与えられる。ここでa_subは基板結晶の格子定数、a_epiは成長する結晶の格子定数を取るのが一般的である。一般に格子対応度が小さいほど配向が取りやすく、また欠陥の少ない結晶が成長できる。

意気に感じる

関東地方南部

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