放出ガスを抑える方法
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2014/02/26 23:06 UTC 版)
放出ガスは真空装置にとって到達圧力を制限し、目標到達圧力までの到達時間を長くする主な要因である。取り除けない放出ガスも存在するが、いくつかの手段により放出ガスを少なくすることはできる。
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