取り出し角とは？ わかりやすく解説

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取り出し角

【英】：take-off angle

EDSにおいて、試料から放出される特性X線を、試料より上方に位置する検出器で取り出す角度のこと。試料面と検出器の上端でなす角度で表わす。この角度を大きく設定することによって、試料から放出されるX線の試料内での拡散距離を短くできるので、定量性がよくなる。

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