予備排気とは？わかりやすく解説

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予備排気

【英】：pre-evacuation

試料ホルダの室を大気圧から一定の低圧力まで排気することをいう。試料室を大気にして試料を交換し、した後、仕切り弁を開けて試料を試料室に移動する。

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