pre-evacuationとは? わかりやすく解説

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予備排気 pre-evacuation


予備排気

【英】:pre-evacuation

試料ホルダの室を大気圧から一定の低圧力まで排気することをいう。試料室大気にして試料交換し、した後、仕切り弁開けて試料試料室移動する

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  • 予備排気


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