マスクレス・リソグラフィの形態とは？わかりやすく解説

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マスクレス・リソグラフィの形態

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/01 03:22 UTC 版)

「マスクレスリソグラフィ」の記事における「マスクレス・リソグラフィの形態」の解説

現在マスクレスフォトグラフィーの主な形式は電子線と光学式である。さらに焦点を合わせたイオンビーム式が開発され、障害分析や修正の用途において重要である。

※この「マスクレス・リソグラフィの形態」の解説は、「マスクレスリソグラフィ」の解説の一部です。
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