バリア層形成技術

超電導用語解説集

バリア層形成技術

　厚さ1-5 nm程度の非超電導体からなる接合のバリア層を形成する技術で、材料の選択と最適化、下部超電導薄膜の表面処理や薄層成長の条件最適化などが含まれる。