出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/17 00:09 UTC 版)
「ディスコ (切断装置製造)」の記事における「ドライエッチャ」の解説
ポリッシャと同様の目的で使用される、プラズマを使用したウェーハ研磨装置。
※この「ドライエッチャ」の解説は、「ディスコ (切断装置製造)」の解説の一部です。
「ドライエッチャ」を含む「ディスコ (切断装置製造)」の記事については、「ディスコ (切断装置製造)」の概要を参照ください。
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