スクラッチとは？わかりやすく解説

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超電導用語解説集

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スクラッチ

　研磨したLPE試料（ウエハー）表面に残存する研磨傷のこと。AFMにて観察される数nm以上の深さの傷を持つ基板は研磨不良とする。

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