オリフィスとは？ わかりやすく解説

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オリフィス　orifice

差動排気を行うときに、圧力差を作るための絞り。圧力差を持った室を接続すると、差圧に応じたガス分子の流れが生じるが、間にオリフィスを置くと、流れに対する抵抗となって働くため、圧力差を保つことができる。例えば、低真空SEMでは、電子光学系と試料室間にオリフィスを置くことで、4〜5桁程度の圧力差を作っている。

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