アッシャー

IT用語辞典バイナリ

アッシャー

【英】asher

アッシャーとは、半導体の基板の製造工程などにおいて用いられる、アッシング（レジスト剥離）を行う装置のこと。

アッシングはフォトリソグラフィの過程で生じる不要なフォトレジストを除去することである。アッシングの主な方式としては、紫外線などを照射し光励起の作用を利用する方式と、高周波などによるプラズマ化の作用を利用する方式がある。それぞれ「プラズマアッシャー」のように呼び分けられることもある。