遠紫外線レジスト

デジタル大辞泉

えんしがいせん‐レジスト〔ヱンシグワイセン‐〕【遠紫外線レジスト】

読み方：えんしがいせんれじすと

遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素(ふっそ)、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素(ふっそ)、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。