蒸着法とは? わかりやすく解説

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蒸着法

【英】vapor deposition

真空蒸着ともよばれ,加熱などにより真空中材料蒸発させ,基板に膜を形成する方法粒子蒸発温度程度の熱エネルギしか持たないので,到着エネルギ小さく基板との付着力小さい。
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