化学蒸着法

デジタル大辞泉

かがく‐じょうちゃくほう〔クワガクジヨウチヤクハフ〕【化学蒸着法】

読み方：かがくじょうちゃくほう

⇒化学気相成長法

超電導用語解説集

化学蒸着法（CVD法）

　原料となる物質をガス状態で供給し、これを固体表面で反応させることにより少なくとも1種類の固体反応性生物を獲る手法をいう。原料ガスには生成物元素を含むガス（複数のことがある）とキャリアガス（用いられないこともある）の混合ガスが使用される。RE123系超電導体の合成の際には、有機金属を原料ガスとして用いる、MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）法が多く用いられる。