エム‐オー‐シー‐ブイ‐ディー【MOCVD】
読み方:えむおーしーぶいでぃー
有機金属気相成長法
(MOCVD から転送)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/08/25 23:37 UTC 版)
有機金属気相成長法(ゆうききんぞくきそうせいちょうほう、英語:metal organic chemical vapor deposition、略称:MOCVD)は、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法、及びその装置である。結晶成長という観点を重視してMOVPE (metal-organic vapor phase epitaxy) とも言う。
- 1 有機金属気相成長法とは
- 2 有機金属気相成長法の概要
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