走査電子顕微鏡基本用語集

アクティブ除振装置　active vibration isolator

SEMは床からの振動を防ぐために、金属バネあるいは空気バネの様な除振装置を使っているが、床振動の周波数によってはこれらのバネの共振周波数と一致して、かえって増幅されてしまい、大きな像揺れを引き起こす。アクティブ除振装置は、センサーで検出した振動を打ち消すような動きをアクチュエータで与えることで、共振を抑えるシステムである。