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走査電子顕微鏡基本用語集
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アウトレンズ検出器　out-lens detector

アウトレンズ形対物レンズと組み合わされて使われる二次電子検出器。対物レンズと試料の間に配置されており、光軸に関して非対称な配置となるため、方向性を持った照明効果が得られる。通常はET検出器がそのまま使われており、作動距離が短くなると検出感度が低下する。
アウトレンズ検出器

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