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走査電子顕微鏡基本用語集

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アクティブ磁気シールド(アクティブ磁場キャンセラ) active magnetic shield,active magnetic field canceller

磁気センサー磁場変動検出し、周囲に置いた磁界発生コイルに流す電流調整すると、磁気センサーが置いてある場所の磁場変動打ち消すことが可能である。このようなシステムアクティブ磁気シールドと呼ぶ。磁場変動種類によっては高透磁率素材を使った磁気シールドより手軽設置することが可能である。

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