ラムリサーチ 沿革

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ラムリサーチ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/04/14 23:33 UTC 版)

沿革

ラムリサーチの歴史
1980年	カリフォルニア州サンタクララにDavid K. Lamが設立
1981年	最初の商品（装置）であるAuto Etchを発売
	ロジャーエメリックをCEOに任命
1984年	LamはLACXとしてNASDAQ上場
1985年	ヨーロッパに初めてオフィスを開設
	財政歳入　～3400万ドル
1987年	カリフォルニア州フリーモントに本社を移転
	Rainbow®エッチングシステムを発売
	最初のMSSDシステム、ConceptOne®PECVD発売
1989年	韓国で初めて事務所を開設
1990年	財政歳入　～140万ドル
1991年	SPシリーズスピンクリーンシステムを発売
1992年	台湾とシンガポールにオフィスを開設
	最初のTransformer Coupled Plasma™導体エッチング製品を発売
1993年	ConceptTwo®ALTUS®CVDタングステンシステムを発売
	日本にプロセス開発センターを開設
1995年	初代Dual Frequency Confined™誘電体エッチング製品を発表
	財政歳入　～10億ドル
1996年	SPEED®HDP-CVDシステムを発売
1997年	Jim BagleyをCEOに任命
1998年	Core Valuesを発売
	SABRE®ECDシステムを発表
2000年	2300®エッチングプラットフォームの発表
	VECTOR®PECVDシステムを発売
	インドにオフィスを開設
	Lam研究財団法人を設立
	財政歳入　～12億ドル
2002年	Tualatin、Oregonキャンパスを開講
2003年	DaVinci®スピンクリーン製品を発売
2004年	第一世代のKiyo®とFlex™エッチング製品を発表
	ALTUS®タングステンバリアCVDシステムを発売
2005年	SOLA®UVTPフィルム処理システムを発売
	スティーブ・ニューベリーをCEOに任命
	財政歳入　～15億ドル
2006年	Bullen Semiconductor、Silfex、Incを買収
2007年	through-silicon via etch用に最初のSyndion®システムを出荷
	DV-Prime® spin clean systemを発売
	Coronus® plasma bevel clean systemを発売
2008年	SEZ AG、Lam Research AGを買収
	GAMMA®GxT®およびGAMMA®G400® strip systemsを発売
2010年	ウェハレベルパッケージング向けのSABRE®3D ECDシステムを発表
	財政歳入　～21億ドル
2011年	Corus Manufacturing（韓国）設立
2012年	Martin AnsticeをCEOに任命
	Novellus Systemsと合併
2013年	アメリカ合衆国で640億個の半導体を販売
2014年	ALTUS® Max ICEFill™ W-CVD VECTOR® Strata™ PECVD Flex™F series誘電体etchを発売
	VECTOR®ALD Oxide Kiyo®Fシリーズ導体エッチング製品を発売
	製造に適した原子層エッチング装置「Kiyo®Fシリーズ」を発表
2015年	財政歳入　～53億ドル