モンタージュとは? わかりやすく解説

モンタージュ montage

複数SEM像をつなぎ、広い領域からの情報を得る手段SEM像の最低倍率得られる視野より広い領域全体を、一度観察するのに有効な手段である。パーソナルコンピュータ制御モーター駆動ステージ利用して自動的にモンタージュを行うことも可能で、SEM像の観察だけでなく、広い領域元素マッピングも可能である。

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