低角度型EDS検出器とは？わかりやすく解説

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低角度（配置）型EDS検出器

【英】：low-angle type EDS detector

試料に対して見込み角30°以下におくEDS検出器。検出器を試料に近づけ易いのでX線の検出効率が高い。試料を傾斜して取り出し角を大きくすることにより、試料から放出される X線の試料内での拡散距離を短くできる。試料の配置によってX線の強度比が変化し易く、定量性が高くないのが欠点である。

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