Probe currentとは？ わかりやすく解説

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プローブ電流　probe current

試料に照射される電子プローブ内を流れる電流量。照射電流と同じ意味を持つ。観察モードや分析モードによって適した電流量は異なるが、通常の二次電子像観察では10pA程度のプローブ電流が使われる。

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照射電流　illumination current,probe current

試料に照射されるプローブ電流。

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