トリス（ジメチルアミノ）シリルアミンとは？ わかりやすく解説

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トリス(ジメチルアミノ)シリルアミン

分子式：C6H20N4Si
その他の名称：Tris(dimethylamino)silylamine、Aminotris(dimethylamino)silane、Tris(dimethylamino)silanamine、N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetetraamine
体系名：トリス(ジメチルアミノ)シリルアミン、アミノトリス(ジメチルアミノ)シラン、トリス(ジメチルアミノ)シランアミン、N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシランテトラアミン

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