ISD法線材とは？わかりやすく解説

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超電導用語解説集

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ISD (Inclined SubstrateDeposition)法線材

ISD (Inclined Substrate Deposition)法線材　レーザー蒸着法あるいは電子ビーム蒸着法において、ターゲットに対して基板をある角度を持たせて対向させ成膜することにより、他に特別な操作することなく成膜した材料の結晶方位が3次元的にそろうことがYSZやMgO等で見いだされている。これを利用して自己配向した中間層を成膜し、その上に超電導層を成膜することにより得られた線材。自己配向法線材とも言う。

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