3.マイクロシステム技術研究室 (The Microsystems Technology Office (MTO) )
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「国防高等研究計画局」の記事における「3.マイクロシステム技術研究室 (The Microsystems Technology Office (MTO) )」の解説
基礎研究部門の一つで主に半導体やマイクロマシンなどの微細技術の研究を行っている。
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