超精製
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/10/07 04:00 UTC 版)
マイクロエレクトロニクスに使用される半導体エピタキシャルシリコン層の製造に使用するには、ジクロロシランを超精製して濃縮する必要がある。シリコン層の積層により、厚いエピタキシャル層が生成され、強固な構造が作成される。
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