分子線エピタクシー

デジタル大辞泉

ぶんしせん‐エピタキシー【分子線エピタキシー】

読み方：ぶんしせんえぴたきしー

高真空下で金属などの材料を蒸発させ、ビーム状の分子線を生成し、基板に照射することで結晶成長を促す手法。真空蒸着の一種。集積回路製作のためのエピタキシャル成長に利用される。分子線エピタクシー。MBE（molecular beam epitaxy）。