六フッ化硫黄希釈法
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/12 06:22 UTC 版)
空気置換法とほぼ同じ原理に基づくもので、装置内に六フッ化硫黄ガスを一定量入れる方法である。
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