予備排気とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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予備排気　pre-evacuation

試料交換を行うときに、交換室を粗引きポンプで所定の圧力まで排気すること。予備排気終了後仕切り弁を開けて試料交換を行う。これにより、必要以上に試料室の真空を低下させることなく試料交換を行うことができる。

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