ダイシングソー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/10/09 13:52 UTC 版)
ダイシングソー（英語：dicing saw）は、切断機械の一種。ダイシングに使うカッターで、シリコンウェハーの切断を行う[1]。現在では直径200mmあるいは300mmのシリコンウェハーの切断が主流で、0.05mm四方の切断も可能である[2]。
- ^ 菊地正典 1998, p. 142.
- ^ “ウエハー切断幅5分の１に、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）や無線識別（ＲＦＩＤ）などの小型チップの生産効率が高まる”. 日刊工業新聞社 (2018年1月18日). 2022年10月9日閲覧。
[続きの解説]
「ダイシングソー」の続きの解説一覧
- 1 ダイシングソーとは
- 2 ダイシングソーの概要
- 3 脚注
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